| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 车间废水治理设施 | 《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表1“车间或生产设施废水排放口”间接排放限值 | 酸性气体洗涤塔废水经含氟废水处理系统处理后进入酸碱废水处理系统 | 监测点位：酸性废气洗涤塔废水出口；监测因子：砷；监测频次4次/天，共2天 | 达标 |
| 2 | 工业废水治理设施 | 全盐量指标执行台积电与南京浦口经济开发区工业废水处理厂（即光大工业废水处理南京有限公司）签订的污水处理协议中明确的间接排放限值，氨氮、总氮、总磷、LAS、TOC、pH、总铜、氟化物、COD、SS执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表1“企业废水总排放口”间接排放限值 | （1）机台附属洗涤设备废水经收集进入洗涤废水回收系统处理后回用于机台附属洗涤设备，其余浓缩水含较高浓度氟成分，进入含氟废水处理系统进行处理；机台排放含氟废水直接进入含氟废水处理系统进行处理后进入酸碱废水处理系统； （2）研磨废水经研磨废水处理系统、含铜研磨废水经含铜研磨废水处理系统分别处理后，一并进入含铜研磨废水回收系统，经回收系统处理后达到回用水水质标准后，回用水部分进入回用水水槽，部分回用于机台附属洗涤设备，其浓缩水进入酸碱废水处理系统进行处理； （3）酸碱废水经酸碱废水回收系统处理后达到回用水水质标准后，回用水部分进入回用水水槽，部分回用于机台附属洗涤设备，其浓缩水进入酸碱废水处理系统进行处理； （4）含氨废水经含氨废水处理装置处理后，进入含氨废水回收系统，经回收处理后达回用水水质标准后，回用水部分进入回用水水槽，部分回用于机台附属洗涤设备，其浓缩水进入含氟废水处理系统进行处理； （5）含氟氨废水与碱性气体洗涤塔废水经含氟氨废水处理系统处理后进入含氟废水处理系统进一步处理； （6）含氮磷废水经含氮磷废水处理系统处理后进入酸碱废水处理系统； （7）洗涤废水回收系统浓缩水、经含氟氨废水处理工艺处理后的含氟氨废水、酸性气体洗涤塔废水、含氨废水回收系统浓缩水、机台排放含氟废水一起进入含氟废水处理系统进行处理； （8）含显影液废水经含显影液废水处理系统处理后进入酸碱废水处理系统； （9）制程工艺其他废水、纯水制备弃水和冷却塔定期排水直接进入酸碱废水处理系统处理； （10）酸性气体洗涤塔废水经含氟废水处理系统处理后进入酸碱废水处理系统。通过增加单体罐的形式扩建费事处理设施设施能力。 | 1、监测点位：含氟废水处理系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、总磷、全盐量、TOC；2、监测点位：洗涤污水回收系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、总磷、全盐量、TOC；3、监测点位：研磨废水处理系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、LAS、氨氮、总氮、全盐量、TOC；4、监测点位：含铜研磨废水处理系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、全盐量、TOC；5、含铜研磨废水回收系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、全盐量、LAS、TOC；6、监测点位：酸碱废水回收系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、全盐量、LAS、TOC；7、监测点位：含氨污水处理系统进、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、全盐量、TOC；8、监测点位：含氨污水回收系统进、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、全盐量、TOC；9、监测点位：含氟氨污水处理系统进、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、全盐量、TOC；10、监测点位：含氮磷污水处理系统进、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、总磷、全盐量、TOC；11、监测点位：酸碱废水处理系统进、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC；12、监测点位：含显影液废水处理系统出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、总氮、LAS、全盐量、TOC；13、监测点位：纯水反冲洗回收系统出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC；14、监测点位：回用水槽；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC；15、监测点位：生产废水排口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、铜、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC。监测频次均为4次/天，共2天。 | 达标 |
| 3 | 生活污水处理设施 | 生活污水排口动植物油、LAS执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中的三级标准，其余指标执行台积电与南京浦口经济开发区污水处理厂签订的污水处理协议中明确的间接排放限值。 | 办公楼生活污水中食堂废水经隔油后与其他生活污水、地面清洁废水等一道进入厂内化粪池和新增的生活水处理系统处理后通过生活污水排口排入南京浦口经济开发区污水处理厂（即江苏华水污水处理有限公司）集中处理。 | 1、监测点位：生活污水处理系统进口、出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、总磷、动植物油、LAS；2、监测点位：生活污水出口；监测因子：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、总磷、动植物油、LAS，监测频次均为4次/天，共2天 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 有机废气处理设施 | 浓度限值执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3及表4标准限值；速率限值参照执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准、天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准 | 沸石转轮吸附+高温燃烧+FQ-401~FQ-409共9根43m排气筒排放 | 监测点位：有机废气处理设施进出口（FQ-405~FQ-409）；监测因子：废气参数、非甲烷总烃、异丙醇、二氧化硫、氮氧化物、颗粒物；监测频次：4次/天，共2天 | 达标 |
| 2 | 酸性废气处理设施 | 氮氧化物、颗粒物、氯气、硫酸雾、氟化物、氯化氢、氨、非甲烷总烃、异丙醇和砷化氢排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3大气污染物排放限值；溴化氢、磷酸雾排放浓度和速率标准根据《制定地方大气污染物排放标准的技术方法》（GB/T 13201-91）中公式计算得到；二氧化硫定性分析；氮氧化物、颗粒物、氯气、硫酸雾、氟化物、氯化氢排放速率参照执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准 | 1B区域酸性废气经机台自带废气预处理装置LSC+酸性废气洗涤塔+FQ-501~FQ-509、FQ-512~FQ-515共13根排气筒 | 监测点位:9套一个区域（FQ-501~FQ-509）选测5套； 4套一个区域（FQ-512~FQ-515）全测； 一共测9套,废气处理设施出口；监测因子：废气参数、硫酸雾、氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物、砷、溴化氢、二氧化硫、颗粒物、磷酸雾；监测频次：4次/天，共2天 | 达标 |
| 3 | 碱性废气处理设施 | 排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3大气污染物排放限值；排放速率氨参照执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准 | 经机台自带废气预处理装置LSC+碱性废气洗涤塔+FQ-301~FQ-305共5根排气筒 | 监测点位：碱性气体出口（FQ-301~FQ-305）；监测因子：废气参数、氨气；监测频次：4次/天，共2天 | 达标 |
| 4 | 生活污水臭气处理设施 | 氨、硫化氢和臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准 | 各污水池加盖，各污水单元产生的恶臭气体收集后经生物除臭处理后由1根15m高排气筒FQ-601排放 | 监测点位：生活污水臭气处理设施出口；监测因子：氨、硫化氢、臭气浓度；监测频次：4次/天，共2天 | 达标 |
| 5 | 无组织废气治理措施 | 硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃无组织废气执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表4企业边界大气污染物浓度限值，硫化氢和臭气浓度无组织执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表1标准。非甲烷总烃同时需满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）要求。 | 通风，加强绿化等 | 1、监测点位：上风向1个，下风向3个；监测因子：气象参数、非甲烷总烃、硫酸雾、氯化氢、氨气、硫化氢、臭气浓度；监测频次：4次/天 共2天；2、监测点位：固废仓库门窗或通风口外1m、距离地面1.5m以上处1个；甲类仓库门窗或通风口外1m、距离地面1.5m以上处1个；1A储罐区外1m、距离地面1.5m以上处3个；1B储罐区外1m、距离地面1.5m以上处3个；高压主站1楼外1m，距离地面1.5m以上处1个；高压主站楼顶，距离楼面1.5m以上处1个，沸石转轮清洗废液储槽外1m，距离地面1.5m以上处1个；监测因子：非甲烷总烃；监测频次：1h平均浓度，2天 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 厂区各噪声设备 | 厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）的3类标准，临敏感目标侧执行2类标准要求。 | 项目采用高噪声设备集中布置的原则，选用低噪声设备，并采取了减振、隔声和消声等降噪措施，同时，厂区内种植绿化降低噪声排放。 | 监测点位：东、南、西、北厂界共布设8个测点；监测因子：气象参数、等效连续（A）声级；监测频次：昼夜各1次/天 ，共2天 | 达标 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
|---|---|---|---|
| 1 | 落实土壤及地下水污染防治措施。采取源头控制，依托原有防渗措施，加强项目车间、化学品库、危险固废暂存区、废水处理站、事故应急池以及污水管线（架空除外）等重点防渗区管理，确保不对土壤和地下水造成影响。 | 1、本项目新增的车间、化学品库、危废贮存区、废水处理罐和事故池及污水管线均作为重点防渗区管理。 2、已制定土壤、地下水环境跟踪监测计划，并按监测计划执行。 | 已落实 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
|---|---|---|---|
| 1 | 落实固废污染防治措施。按“减量化、资源化、无害化”处理原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。废酸（废硫酸、废氢氟酸、废磷酸）、废有机溶剂（NMP废液）、废有机溶剂（Thinner废液）、废有机溶剂（异丙醇废液）、废有机溶剂（沸石转轮清洗废液）、废有机溶剂（Solvent废液）、废有机溶剂（光阻清洗废液）含铜废液、废机油、废容器空桶、沾染性废物、实验室废物、废电池、废防冻液、淘汰及过期化学品、酸性过期化学品、碱性过期化学品、含砷废液、含砷废物、废沸石分子筛、废日光灯管、污泥、废离子交换树脂、废活性炭、废硫酸铵、废显影液、感染性废物、药物性废物、损伤性废弃物等危险废物委托有资质单位安全处置，转移处置时应按规定办理转移审批手续。生活垃圾、餐厨垃圾（含废油脂）、废材料、废晶圆、含氟污泥、空气滤网等一般工业固废委托专业单位综合利用或规范化处置的，须执行相关规定。所有固废零排放。 按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）及其修改单和《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》的相关要求建设危险废物贮存设施：一般工业固废贮存设施应按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）及其修改单要求设置。 | 1、废硫酸、废氢氟酸、废磷酸、废硫酸铵主要委托南京绿联环境科技发展有限公司处置；废有机溶剂（NMP废液）、废有机溶剂（Thinner废液）、废有机溶剂（异丙醇废液）、废有机溶剂（Solvent废液）、废有机溶剂（光阻清洗废液）主要委托南京长江江宇环保科技股份有限公司处置；废有机溶剂（沸石转轮清洗废液）、废沸石分子筛主要委托南京海中环保科技有限责任公司处置；含铜废液主要委托昆山市大洋环境净化有限公司处置；废机油、沾染性废物、废防冻液、淘汰及过期化学品、酸性过期化学品、碱性过期化学品主要委托南京卓越环保科技有限公司处置；含砷废液、含砷废物主要委托江苏中天共康环保科技有限公司处置；废容器空桶主要委托江苏永吉环保科技有限公司处置；实验室废物主要委托中环信（南京）环境服务有限公司处置；废电池、废日光灯管主要委托太仓融朗再生资源有限公司处置；污泥主要委托南京海中环保科技有限责任公司处置；废离子交换树脂委托盛隆资源再生（无锡）有限公司处置；废活性炭委托卡尔冈炭素（苏州）有限公司处置；废显影液主要委托镇江润晶高纯化工科技股份有限公司处置；电子废物（破损）主要委托江苏宜嘉物资回收再生利用有限公司处置；医务室产生的各种感染性、药物性废物、损伤性废弃物主要委托南京汇和环境工程技术有限公司处置。 2、本项目产生的各种固体废弃物均得到妥善处置，故本项目固体废弃物处理措施可行。 | 已落实 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
|---|
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
|---|---|---|---|
| 1 | 落实环境风险防范措施。落实报告表提出的环境风险防范措施，依托原有消防水池、事故池，加强运营期环境管理，修编突发环境事件应急预案，建立与园区对接、联动的风险防范体系。定期组织应急演练，防止生产过程中发生环境污染事件，确保环境安全。严格按标准规范建设环境治理设施，环境治理设施开展安全风险辨识管控。健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度，确保环境治理设施安全、稳定、有效运行。 | 1、台积电已将扩建项目整体纳入了突发环境事件应急预案管理体系，并于2024年7月29日取得了南京市浦口生态环境局的备案表，备案号320111-2024-029-H，风险等级为：重大[重大－大气（Q3M3E1）+重大－水（Q3M2E3）]。 根据现场勘查，本次变动新增1个3000m3事故池，位于大宗气体站西侧，原有消防事故池312m3（埋于生产厂房地下）、甲级仓库事故池178.5m3（埋于甲级仓库地下）仍保留。事故池总容积环评时490.5m3，变动后3490.5m3，事故废水暂存能力提升。 | 已落实 |
