序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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1 | 工业废水治理设施 | 生产废水排口处全盐量指标执行台积电与南京浦口经济开发区工业废水处理厂(即光大工业废水处理南京有限公司)签订的污水处理协议中明确的间接排放限值,其余指标执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表1“企业废水总排放口”间接排放限值 | 生产废水经厂内预处理满足接管标准后,经生产废水排口排入南京浦口经济开发区工业废水处理厂集中处理。 验收项目废水主要依托原有废水处理设施,不新增,废水收集方式如下: (1)酸性气体洗涤塔废水经收集进入含氟废水处理系统处理后进入酸碱废水处理系统; (2)含显影液废水经含显影液废水处理系统处理后进入酸碱废水处理系统; (3)纯水制备弃水、制程工艺其他废水和冷却塔定期排水直接进入酸碱废水处理系统处理; (4)含氨废水经含氨废水处理系统处理后,进入含氨废水回收系统,经回收处理后达到回用水水质标准后,回用水进入回用水槽用于冷却塔和酸性气体洗涤塔补水,其浓缩水进入含氟废水处理系统进一步处理后进入酸碱废水处理系统。 | 1、监测点位:含氟废水处理系统进口、出口;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、全盐量、TOC;2、监测点位:含氨废水处理系统进、出口;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、全盐量、TOC;3、监测点位:含氨废水回收系统进、出口;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、全盐量、TOC;4、监测点位:酸碱废水处理系统进、出口;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC;5、监测点位:含显影液废水处理系统出口;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、总氮、LAS、全盐量、TOC;6、监测点位:回用水槽;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC;7、监测点位:生产废水排口;监测因子:pH、化学需氧量、悬浮物、氟化物、氨氮、总氮、总磷、LAS、全盐量、TOC,监测频次:均为4次/天共2天。 | 达标 |
序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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1 | 酸性废气处理设施 | 硫酸雾、氟化物排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3大气污染物排放限值;硫酸雾排放速率参照《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准 | 酸性废气依托原有的G1区域12套酸性废气洗涤塔和对应的12根排气筒和本项目增加的1套酸性废气洗涤塔和对应的1根排气筒共13套酸性废气洗涤塔和对应的13根排气筒(FQ-101~FQ-109、FQ-112~FQ-115)排放。 | 酸性气体出口 9套一个区域(FQ-101~FQ-109)选测5套; 4套一个区域(FQ-112~FQ-115)全测; 一共测9套 | 达标 |
2 | 碱性废气处理设施 | 氨排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3大气污染物排放限值,排放速率参照《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准 | 碱性废气依托原有的G3区域5套碱性废气洗涤塔和对应的5根排气筒(FQ-301~FQ-305)排放 | 碱性气体出口(FQ-301~FQ-305) | 达标 |
序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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1 | 厂内各噪声设备 | 厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)的3类标准 | 低噪声设备,并采取了减振、隔声和消声等降噪措施,同时,厂区内种植绿化降低噪声排放 | 监测点位:东、南、西、北厂界共布设8个测点;监测因子:气象参数、等效连续(A)声级;监测频次:昼夜各1次/天 共2天 | 达标 |
序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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1 | 落实土壤及地下水污染防治措施。按照污染防治分区的要求,采取源头控制,对重点污染防治区和一般污染防治区采取相应等级的防渗措施,落实项目车间、化学品库、危险固废暂存区、废水处理站、事故应急池以及污水管线(架空除外)等重点污染防治区的防渗措施,确保不对土壤和地下水造成影响。 | 本项目在原有已建成车间内建设,土壤、地下水污染防治措施主要依托原有。台积电已按照地下水污染防治措施按照“源头控制,分区防治,污染监控,应急响应”,根据现有项目污染特点,采取了针对性的污染防治措施。 | 已落实 |
序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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1 | 落实固废污染防治措施。按“减量化、资源化、无害化”处理原则,落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。废硫酸、废显影液、废硫酸铵、废容器空桶、沾染性废弃物等危险废物委托有资质单位安全处置,转移处置时应按规定办理转移审批手续。废材料等一般工业固废委托专业单位综合利用或规范化处置的,须执行相关规定。所有固废零排放。 按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及其修改单和《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》的相关要求建设危险废物贮存设施;一般工业固废贮存设施应按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)及其修改单要求设置。 | 1、废材料委托南京环务资源再生科技有限公司处置,废硫酸、废硫酸铵主要委托南京绿联环境科技发展有限公司处置;废容器空桶委托江苏永吉环保科技有限公司处置;废显影液委托镇江润晶高纯化工科技股份有限公司处置;沾染性废弃物委托南京卓越环保科技有限公司处置。 2、危险废物贮存设施已按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求建设。 | 已落实 |
序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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1 | 落实环境风险防范措施。落实报告表提出的环境风险防范措施,修编突发环境事件应急预案,加强运营期环境管理,定期组织应急演练,防止生产过程中发生环境污染事件,确保环境安全。严格按标准规范建设环境治理设施,环境治理设施开展安全风险辨识管控,健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度,确保环境治理设施安全、稳定、有效运行。 | 2024年5月对突发环境事件应急预案进行了修编,将本项目纳入突发环境事件应急预案体系中。2024年7月29日取得了南京市浦口生态环境局的备案表,备案号320111-2024-029-H。 | 已落实 |