苏州晶瓴半导体有限公司高质量碳化硅异质晶圆研发新建项目_项目_环境影响评价环评公示环评文件下载

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苏州晶瓴半导体有限公司

项目基本信息

建设项目名称：

苏州晶瓴半导体有限公司高质量碳化硅异质晶圆研发新建项目

项目类别：

M科学研究和技术服务业 - M73研究和试验发展 - M732工程和技术研究和试验发展

项目地址：

苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区25幢101室

项目总投资：

2450 万

项目环保投资：

20 万

环评审批编号：

审批文号：H20230254

排污许可编号：

批复日期：

2023-10-07

审批机构名称：

工业园区环保局

验收检测单位：

苏州工业园区绿环环境检测技术有限公司

验收检测单位代码：

91320594773757486C

验收开始日期：

2024-09-13

验收结束日期：

2024-10-17

报告编制机构：

苏州晶瓴半导体有限公司

报告编制机构代码：

91320594MACPALMDX4

验收意见名称：

20241017150017232_晶瓴项目验收意见.pdf 查看

验收报告：

20241017153017322_1、晶瓴验收监测报告表.pdf 查看

验收公开载体：

苏州晶瓴半导体有限公司高质量碳化硅异质晶圆研发新建项目竣工日期及调试起止日期公示-苏州世清环保科技有限公司http://www.epsip.cn/nd.jsp?id=974&groupId=-1

调试开始日期：

2024-07-07

调试结束日期：

2024-09-30

竣工日期：

2024-07-07

营业单位代码：

91320594MACPALMDX4

营业单位名称：

苏州晶瓴半导体有限公司

行业类别年：

2021

行业类别代码：

098

行业名称：

专业实验室、研发（试验）基地

最终行业代码：

M7320

最终行业名称：

M7320-工程和技术研究和试验发展

环境保护设施落实情况

水污染治理设施

序号	设施名称	执行标准	实际建设情况	监测情况	达标情况
1	减薄机配套沉淀过滤箱	《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4三级	本项目减薄废水中化学需氧量、SS符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准	本项目减薄废水中化学需氧量、SS符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准	达标

大气污染治理设施

序号	设施名称	执行标准	实际建设情况	监测情况	达标情况
1	DA001	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041—2021）表1标准	本项目有机废气经管道收集，采用楼顶1套二级活性炭吸附装置处理，通过1根有机废气排气筒DA001排放。（排气高度20m）	本项目有机废气经管道收集，采用楼顶1套二级活性炭吸附装置处理，通过1根有机废气排气筒DA001排放。（排气高度20m）	达标
2	DA002	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041—2021）表1标准	酸性气体经通风橱和管道收集，采用楼顶1套碱性喷淋塔处理，通过1根酸性废气排气筒DA002排放。（排气高度20m）	酸性气体经通风橱和管道收集，采用楼顶1套碱性喷淋塔处理，通过1根酸性废气排气筒DA002排放。（排气高度20m）	达标

噪声治理设施

序号	设施名称	执行标准	实际建设情况	监测情况	达标情况
1	室外噪声源主要为废气处理风机，室内噪声源主要为激光切割机、减薄机、抛光机、CMP机、清洗机、空压机等设备	《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准	本项目室外噪声源主要为废气处理风机，室内噪声源主要为激光切割机、减薄机、抛光机、CMP机、清洗机、空压机等设备运行产生的噪声，经采用合理布局、隔声减振、距离衰减等措施后，厂界噪声能够达标排放。本次提高工作效率，工作时间由环评中8:00-24:00至7:30-20:30，调整后无夜间工况。	本项目室外噪声源主要为废气处理风机，室内噪声源主要为激光切割机、减薄机、抛光机、CMP机、清洗机、空压机等设备运行产生的噪声，经采用合理布局、隔声减振、距离衰减等措施后，厂界噪声能够达标排放。本次提高工作效率，工作时间由环评中8:00-24:00至7:30-20:30，调整后无夜间工况。	达标

地下水污染治理设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求

固废治理设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求
1	危废委托有资质单位处置，一般固废外售，生活垃圾环卫清运	本项目产生的固废主要为危险废物、一般固废和生活垃圾，其中员工日常生活产生的生活垃圾和一般固废（包括一般废包材、废滤材、减薄耗材、废渣、废石墨件/石墨毡、晶圆废样品）由环卫部门清运（马鞍山市欣鑫清扫保洁有限公司）；危险固废包括废实验耗材、废活性炭、研发实验废液（分为物理抛光废液、有机废液、酸性废液、碱性废液）委托苏州全佳环保科技有限公司处置。	已落实

生态保护设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求

风险设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求