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芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司碳化硅MOS芯片制造一期项目

浙江省 - 绍兴市 - 越城区
|
C3973集成电路制造
项目基本信息
建设项目名称:
芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司碳化硅MOS芯片制造一期项目
项目类别:
C制造业 - C39计算机_通信和其他电子设备制造业 - C397电子器件制造 - C3973集成电路制造
项目地址:
皋埠街道临江路508号
项目总投资:
95200 万
项目环保投资:
1500 万
环评审批编号:
绍市环越审〔2024〕4号
排污许可编号:
批复日期:
2024-01-24
审批机构名称:
验收检测单位代码:
91330600MA2886EB71,91330200MA283AYU3H
验收开始日期:
2024-08-26
验收结束日期:
2024-09-23
报告编制机构代码:
91330602MA7EBXU70R
验收意见名称:
20240925163025160_0823芯联越州专家意见(签字版).pdf 查看
验收报告:
20240925163025736_20240925芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司碳化硅MOS芯片制造一期项目竣工环境保护验收监测报告--备案稿.pdf 查看
验收公开载体:
https://gs.bozoyan.cn/index.php?c=show&id=58
调试开始日期:
调试结束日期:
竣工日期:
2024-05-31
营业单位代码:
91330602MA7EBXU70R
营业单位名称:
芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司
行业类别年:
2021
行业类别代码:
080
行业名称:
电子器件制造
最终行业代码:
C3973
最终行业名称:
C3973-集成电路制造
环境保护设施落实情况

水污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 含氟废水处理系统(混凝沉淀)、含氨废水处理系统(空气吹脱+酸洗吸收)、综合废水中和系统(酸碱中和)、化粪池 总铬在预处理设施出口,其他因子在废水总排口废水执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1中半导体器件行业的间接排放限值;NH3-N执行浙江省地方标准《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中“其他企业”的规定35mg/L;BOD5、动植物油和甲醛执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级排放标准;总铬在预处理设施出口,其他因子在废水总排口执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1中的半导体器件行业的间接排放限值;总镍在预处理设施出口、总氰化物、总铅、总铜在废水总排口执行浙江省《电镀水污染物排放标准》(DB33/2260-2020)表1中的其他地区间接排放限值。 本项目厂区采用清污分流、雨污分流排水体制。①W2含氨废水和W4-3碱性废气洗涤塔排水经含氨废水处理系统(空气吹脱+酸洗吸收)处理后,与W1含氟废水、W4-1酸性废气洗涤塔排水、W4-2POU洗涤塔排水一并进入含氟废水处理系统(混凝沉淀)进行处理;W3酸碱废水、W5纯水制备系统排水、W7POU回收水系统排水和W8清洗水回收系统排水与含氟废水处理系统出水一并进入综合废水中和系统(酸碱中和)处理达标后排入污水总排口纳管排放。②W6工艺冷却系统排水直接排入污水总排口纳管排放。③生活污水经预处理设施(格栅、隔油池)处理达标后排入污水总排口纳管排放。④雨水经厂区雨水管道收集后排入市政雨水管网。 本项目废水总排放口(★8#)中pH值范围、CODCr、SS、氟化物、TP、TN、总铬、TOC和LAS的排放浓度的最大日均值均符合《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1中半导体器件行业的间接排放限值;总镍、总铅、总铜和总氰化物的排放浓度的最大日均值均符合浙江省《电镀水污染物排放标准》(DB33/2260-2020)表1中的其他地区间接排放限值;NH3-N的排放浓度的最大日均值符合浙江省地方标准《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中“其他企业”的规定35mg/L;BOD5、动植物油和甲醛的排放浓度的最大日均值均符合《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级排放标准。 达标

大气污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 酸性废气处理系统(碱液喷淋) 本项目酸性废气排放口中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾和颗粒物的排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨、硫化氢和臭气浓度的排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 本项目产生的G4工艺尾气通过POU净化装置处理后与G1酸性废气和G6废水处理站废气(除氨氮废水处理站废气)一并经过1套酸性废气处理系统(碱液喷淋)处理后通过1根35m排气筒高空排放。 本项目酸性废气处理装置出口(◎1#)中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾和颗粒物的最大排放浓度和最大排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨和硫化氢的最大排放速率、臭气浓度(无量纲)的监测结果最大值均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 达标
2 碱性废气处理系统(酸液喷淋) 本项目碱性废气排放口中颗粒物的排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨的排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 G2碱性废气经过1套碱性废气处理系统(酸液喷淋)处理后通过1根35m排气筒高空排放。 碱性废气处理装置出口(◎2#)中颗粒物的最大排放浓度和最大排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨的最大排放速率符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 达标
3 有机废气处理系统(2套沸石转轮浓缩焚烧系统+1套备用活性炭吸附装置) 本项目有机废气排放口中颗粒物、异丙醇(按非甲烷总烃评价)和丙酮(按非甲烷总烃评价)的排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;VOCS的排放执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的大气污染物排放限值。 G3有机废气经过3套有机废气处理系统(2套沸石转轮浓缩焚烧系统及1套活性炭吸附装置)处理后通过3根35m排气筒高空排放,其中1套有机废气处理系统(活性炭吸附装置+1根35m排气筒)作为备用。G7食堂油烟依托芯联越州已建食堂油烟净化装置处理后达标排放。 有机废气处理装置出口(◎3#、◎4#)中颗粒物、异丙醇(按非甲烷总烃评价)和丙酮(按非甲烷总烃评价)的最大排放浓度和最大排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;VOCS的最大排放浓度符合江苏省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的大气污染物排放限值。 达标

噪声治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 基础减振 本项目厂界噪声东、北侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准;南、西侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)2类标准。 本项目生产设备位于洁净厂房内,声级较小,新增产噪设备主要为废气处理设备及风机等动力设备,企业生产依托现有厂区,通过合理规划厂区布局、将废气处理装置布置于楼顶上、高噪声设备安装基础减震、管道进出口配置气流消声器、加强设备维护、加强职工环保意识教育、增加厂区绿化等措施,确保厂界噪声满足环评中的噪声防治要求。 本项目厂界东、北侧噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准;南、西侧噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)2类标准。 达标

地下水污染治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 项目地下水检测的大部分因子(除耗氧量、氨氮外)均满足《地下水质量标准》(GB/T 14848-2017)中的Ⅳ类标准和《上海市建设用地土壤污染状况调查、风险评估、风险管控与修复方案编制、风险管控与修复效果评估工作的补充规定(试行)》中第二类用地筛选值。根据项目环评内容,地下水耗氧量、氨氮指标未满足《地下水质量标准》(GB/T 14848-2017)中的Ⅳ类标准,主要原因为与区域背景值有关。 已落实

固废治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 落实固废污染防治措施。规范设置危险废物和一般固废暂存库。做好危险废物的入库、存放、出库记录,并设置危险废物识别标志,做好防雨、防渗、防漏等工作。项目产生的各类废酸、废有机溶剂等危险废物须委托有相应危险度物处理资质的单位进行安全妥善处置。委托处置危险废物的,须按照有关规定办理危险废物转移报批手续。危险废物在厂区内暂存按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)执行。一般固废贮存和处置必须符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)等相关要求。 本项目固体废物包括一般固体废物、危险废物及职工生活垃圾。本项目依托芯联集成原有的1处危废仓库(面积约200m2);在芯联集成A2模组生产厂房一层已建废液收集罐区新建了1处危废暂存间(面积约50m2)和1个废液收集罐(容积为13m3),在废酸碱间内新增了3个废液储罐(容积为5m3/个);污泥暂存区依托芯联越州污泥暂存区(芯联越州废水处理站内,面积约400m2)及一般固废间(依托芯联越州化学品库内已建独立一般固废暂存间,面积约200m2),用于暂存项目产生的各类危险废物及一般固体废物。危废堆场地面均进行了硬化、防渗处理,危险废物储存区均严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)建设,建有“浙固码”系统,危险废物分类分区堆放,设置有相应的标识牌,危废台账完整,满足规范化建设要求。本项目所有固体废物均分类收集,妥善处置。 已落实

生态保护设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

风险设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 落实环境风险防范与应急措施。按要求完善企业突发环境事件应急预案,在项目投运前报生态环境部门备案并按规定向社会发布,定期开展应急演习,设置足够容量的环境应急事故池。项目污染防治设施及危废贮存场所等,须与主体工程一起按照安全生产要求设计,并纳入本项目安全预评价,经相关职能部门审批同意后方可实施。有效防范因污染物事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险,确保周边环境安全。 企业动力厂房2设有2个无机废水事故应急池(容积分别为1200m3及1500m3),氨氮废水处理站下方设有1个的事故应急池(容积为5000m3),1个850m3的事故应急池可作为生产废水事故应急使用,动力厂房负一层设有2个的消防水池(容积为2400m3)。厂区设置雨水截止阀,并设置收集系统。 企业已编制突发环境污染事件应急预案,已于2023年4月25日报绍兴市生态环境局越城分局备案(备案号:3306022023013M)。公司的废水、废气处理设施有专门的管理人员进行管理,建立安全生产责任制,落实安全责任人,实行安全生产检查制度,且严格执行,不定期进行安全培训。 已落实

芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司

行业:C3973集成电路制造
地区:浙江省 - 绍兴市 - 越城区

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