| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 化粪池 | 《污水综合排放标准》（GB8978-1996）、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013） | 由于本项目生产工艺中“清洗工序”、“分片、清洗-吹干-镀膜工序”均不在本厂区内实施处理（外协加工），因此不产生清洗废水，本项目废水主要为纯水制备浓水和职工生活污水。 职工生活污水经化粪池预处理后同纯水制备浓水一道纳入市政污水管网，送长兴深长污水处理厂处理后达标排放 | 根据验收监测报告，在监测日工况条件下，企业废水总排口中pH值、化学需氧量、悬浮物排放浓度均符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准要求，氨氮、总磷排放浓度均符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中的其他企业排放限值要求 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 二级活性炭吸附 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996） | 企业在光刻工序易产生有机废气的位置均设置集气装置，有机废气经收集并汇总至一套“二级活性炭吸附”设备处理后，尾气通过15米高排气筒高空排放 | 根据验收监测报告，在监测日工况条件下，光刻废气处理设施排放口中非甲烷总烃排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中的新污染源大气污染物排放二级标准 | 达标 |
| 2 | 喷淋洗涤塔 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996） | 蚀刻工序产生的酸性废气经密闭集气管收集，通过管道进入一套“喷淋洗涤塔”净化处理后，尾气通过15m高排气筒高空排放 | 根据验收监测报告，在监测日工况条件下，刻蚀废气处理设施出口中氟化物排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中的新污染源大气污染物排放二级标准 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 各类设施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008） | 本项目产生的噪声主要为生产车间内生产设备运行时产生的工作噪声，企业生产时车间生产时关闭门窗，设备采用低噪声设备，车间采用换气扇进行通风换气，对风机等高噪声设备采取相应的减震、隔声措施，对风机配置的电动机座安装弹性衬垫和保护套 | 根据验收监测报告，在监测日工况条件下，企业厂界四周昼间噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中的3类标准要求 | 达标 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 1 | 固体废物分类收集、处理，按照"资源化、减量化、无害化"处置原则，建立台帐制度，规范设置废物暂存库，危险固废和一般固废分类收集、堆放、分质处置，提高资源综合利用率，确保处置过程不对环境造成二次污染。严格执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》和《危险废物贮存污染控制标准》中有关规定 | 根据验收监测报告，本项目边角料、废金刚砂、一般废包装材料企业统一收集后出售给物资回收公司综合利用；残胶（光刻胶）、废显影液、废去胶液、废抹布、危险包装固废、废活性炭、喷淋废液属危险废物，分类收集后委托有资质的单位进行安全处置；职工生活垃圾委托当地环卫部门统一清运处置 | 已落实 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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