| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 生活污水、公辅废水一起接管科技城水质净化厂、含砷废水、含氮磷废水、含氟废水、有机废水等分质进行预处理后采用“三效蒸发+RO”回收系统处理 | / | 含砷废水、含氮磷废水、含氟废水、有机废水等分质进行预处理后采用“三效蒸发+RO”回收系统处理，出水回用于生产，不外排；一般酸碱废水收集后经厂内一般废水处理系统处理达到接管标准后，与生活污水、公辅废水一起接管科技城水质净化厂。 | 达标 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 水喷淋装置、光氧催化+活性炭吸附装置 | 《大气污染物综合排放标准》 （DB4041-2021） | 原环评中本项目外延工段尾气经管道经过设备自带过滤器输送至外延尾气洗涤塔处理，然后和酸性废气一起通入碱液喷淋塔处理，处理完的废气通过2#生产楼屋顶的25米排气筒P1排放；实际建设过程中由于外延尾气还会伴随未反应完的氢气一同排出，即使在每台外延设备的尾气中通入氮气稀释氢气，保证管道内氢气浓度低于4%（氢气爆炸极限体积浓度）后直接排放，若稀释后的尾气再汇集直排，仍然有涉爆风险，考虑到安全问题，本次变动决定将外延废气分别处理后由各自排气筒排放。化学气相外延MOCVD设备共18台，本次变动后其中2台设备为氮化镓衬底原料生产外延片的生产工艺，使用氨气作为反应气体，目前这两台外延设备外延废气经水喷淋处理后和酸性废气一同汇入碱液喷淋塔装置处理，再通过2#生产楼屋顶的25米排气筒P1排放，维持原环评废气处理措施及排放情况不变；本次变动后其余16台化学气相外延MOCVD设备，每4台设备对应一套二级加药喷淋装置（加入次氯酸钠、氢氧化钠、磷酸药剂）（共设置5套，4用1备）处理后通过4根排气筒排放（P3、P4、P5、P6，P7为备用处理设施对应排气筒），且设置砷烷、磷烷排放在线监控报警系统。 原环评中外延工段还存在少量未反应完的硅烷气体，经过设备自带过滤器输送至外延尾气洗涤塔处理，然后和酸性废气一起通入碱液喷淋塔处理，处理完的废气通过2#生产楼屋顶的25米排气筒P1排放；在实际建设过程中，由于过滤器+洗涤塔+碱液喷淋塔对硅烷的处理效率不高，且硅烷遇空气极易燃，考虑到合并废气可能存在安全隐患，企业将未反应完的硅烷处理装置更改为过滤器+燃烧器+碱液喷淋塔，处理后通过2#生产楼屋顶的25米排气筒P1排放，处理效率提升、外延工段硅烷废气排放量减少。 | 达标 | 达标 |
| 序号 | 设施名称 | 执行标准 | 实际建设情况 | 监测情况 | 达标情况 |
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| 1 | 合理布置高噪声设备，并经厂房隔声、减震、距离衰减等措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008） | 合理布置高噪声设备，并经厂房隔声、减震、距离衰减等措施 | 达标 | 达标 |
| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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| 序号 | 环评文件及批复要求 | 验收阶段落实情况 | 是否落实环评文件及批复要求 |
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