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锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目一期工程

重庆市 - 两江新区
|
C3973集成电路制造
杨康 联系方式未公开,请点击查看 查看
倪建兴 联系方式未公开,请点击查看 查看
项目基本信息
建设项目名称:
锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目一期工程
项目类别:
C制造业 - C39计算机_通信和其他电子设备制造业 - C397电子器件制造 - C3973集成电路制造
项目地址:
重庆市两江新区水土组团H分区05-1/01地块(水土园区)
项目总投资:
70000 万
项目环保投资:
4338 万
环评审批编号:
渝(两江)环准〔2022〕010号
排污许可编号:
批复日期:
2022-01-28
验收检测单位:
验收检测单位代码:
91500105MA607URR0U
验收开始日期:
2024-08-16
验收结束日期:
2024-09-13
报告编制机构:
报告编制机构代码:
9150010720288713XA
验收意见名称:
20240914110614511_验收意见.pdf 查看
验收报告:
20240914110614277_锐石创新验收文本.pdf 查看
验收公开载体:
https://www.yanshougs.com/publicity_publish/68646.html
调试开始日期:
调试结束日期:
竣工日期:
2023-07-03
营业单位代码:
91500000MA60E2CA8F
营业单位名称:
锐石创芯(重庆)科技有限公司
行业类别年:
2021
行业类别代码:
080
行业名称:
电子器件制造
最终行业代码:
C3973
最终行业名称:
C3973-集成电路制造
环境保护设施落实情况

水污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 含氟废水处理系统 / 设计处理能力80m3/d,采用“中和+化学沉淀+混凝沉淀”工艺进行预处理 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目废水总排口进行废水验收监测 达标
2 有机废水处理系统 / 计处理能力180 m3/d,采用“中和+A2/O+沉淀”工艺进行预处理 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目废水总排口进行废水验收监测 达标
3 研磨废水处理系统 / 设计处理能力100 m3/d,采用“中和+化学沉淀+混凝沉淀”工艺进行预处理 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目废水总排口进行废水验收监测 达标
4 氨氮废水处理系统 / 设计处理能力60m3/d,采用“中和+袋式过滤+热交换+氨氮吹脱吸收”工艺进行预处理 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目废水总排口进行废水验收监测 达标
5 酸碱废水处理系统(全厂污水处理站) pH、SS、COD、BOD5、NH3-N、TP、TN执行污水排放协议限值要求(排污许可证编号:91500000MA60E2CA8F001);石油类、LAS执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1间接排放限值要求;氟化物、TOC的执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1直接排放限值要求。 设计处理能力700m3/d,各类废水经预处理后与酸碱废水一并排入全厂污水处理站,采用“中和”工艺 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目废水总排口进行废水验收监测 达标
6 生活污水处理系统 / 设计处理能力30m3/d,采用“水解酸化+A/O”工艺 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目废水总排口进行废水验收监测 达标

大气污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 酸性废气处理设施 颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、硫酸雾、氯化氢、氟化物执行《大气污染物综合排放标准》(DB 50/ 418-2016),氨执行《恶臭污染物排放标准 》(GB 14554-93) 管道收集后经碱液喷淋吸收塔处理后由30m排气筒排放。 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目进行废气验收监测 达标
2 碱性废气 《恶臭污染物排放标准 》(GB 14554-93) 通过管道收集后经酸液喷淋吸收塔处理后由30m排气筒排放。 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目进行废气验收监测 达标
3 有机废气 颗粒物、二氧化硫、氮氧化物执行《大气污染物综合排放标准》(DB 50/ 418-2016),挥发性有机物执行《天津市地方标准 工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020) 通过管道集中收集后经“沸石转轮浓缩+TO焚烧”处理后由30m排气筒排放。 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目进行废气验收监测 达标
4 锅炉燃烧废气 《锅炉大气污染物排放标准》(DB50/ 658-2016)及修改单 采用低氮燃烧技术,产生的燃烧废气直接通过25m高排气筒排放。 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目进行废气验收监测 达标

噪声治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 建筑隔声、基础减振 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) 建筑隔声、基础减振 重庆中质环环境监测中心于2024年5月9日~5月10日对该项目进行噪声验收监测 达标

地下水污染治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 采取分区防渗。甲类库、危险废物暂存间、废气处理装置、废水处理站、事故应急池、提升泵站等均按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB/T18597-2001)、《危险废物填埋污染控制标准》(GB18598-2001)以及参照《石油化工工程防渗技术规范》(GB/T50934-2013)等要求进行重点防渗;一般污染防治区:指厂区上述重点污染防治区和行政办公区以外的其它装置区等,应参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)要求进行一般防渗。 采取分区防渗。甲类库、危险废物暂存间、废气处理装置、废水处理站、事故应急池、提升泵站等均按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB/T18597-2001)、《危险废物填埋污染控制标准》(GB18598-2023)以及参照《石油化工工程防渗技术规范》(GB/T50934-2013)等要求进行重点防渗;一般污染防治区:指厂区上述重点污染防治区和行政办公区以外的其它装置区等,应参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)要求进行一般防渗。 已落实

固废治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 一般固废:于动力站1层南侧设一般固废暂存间1座,面积40m2,用于一般固废暂存,并落实相应单位处置。暂存场所满足《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》GB 18599-2001及其修改单要求。危险废物:拟于动力站1层南侧设置危险废物暂存间一座,占地面积80m2,按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)中相关要求进行设计、运行和管理,应采取防腐、防渗措施,设置收集沟和收集池。 一般固废:于动力站1层南侧设一般固废暂存间1座,面积40m2,用于一般固废暂存,并落实相应单位处置。暂存场所满足《 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB 18599-2020)。危险废物:拟于动力站1层南侧设置危险废物暂存间一座,占地面积80m2,按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)中相关要求进行设计、运行和管理,设置收集沟和收集池。 已落实

生态保护设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

风险设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 甲类库:设有地沟和集水井,并且与事故池连通;地面进行防腐防渗处理;设置可燃气体、有毒有害气体检测报警仪;应急材料:设置灭火器、消水栓、正压式防毒面具、C级防护服等。 化学品装卸区:化学品装卸区设有地沟,事故状态下,事故性泄漏物料储存在地沟,经管道流入事故池;同时在装卸过程中使用收集桶防止装卸过程中阀门连接口滴漏。 特殊气体储存及供应:特殊气体储存均用特气专用气体钢瓶,暂存于化学品库,使用时领用钢瓶,特气钢瓶领至芯片厂房1各供气间,放入供气柜,由特气柜经供气管道输送至机台,供应易燃易爆气体的特气柜为防爆气柜,并且气柜设计为负压,设有气体泄漏探测装置及自动喷淋系统,气柜尾气排入相应LSC系统处理后/直接排入厂务端处理设施,储存气体的专用钢瓶定期由特种设备检验所进行检验。 供气管道及腐蚀性液体管道:毒腐特气的供气管道为双套管,内管走公司生产所用气体,两管之间为真空,并设真空监测装置和氮气吹扫,当发生事故时,关闭两端阀门,停止供气,事故解除后,原管道内气体通过机台或气柜抽至相应厂务端处理系统。酸碱等腐蚀性液体采用双套管,内管走液体,管道带漏液侦测系统,可发现液体泄漏情况,同时漏液经VMB排至相应厂务端处理系统。 危废暂存间:危废暂存间设相应的废酸碱、废有机溶剂等收集罐并配套建设围堰,容积大于围堰内最大罐体积,围堰、地面及地沟采用防腐防渗处理。危险品库危险废物暂存间暂存间设有围堰,进行防渗处理,设有专用标志,满足《危险废物贮存污染控制标准》GB 18597−2001规定的贮存控制标准。 地埋式柴油罐:储罐区进行地面硬化、防渗处理; 在线监测:含氟废水、研磨废水、氨氮废水、含铜废水各处理子系统设置pH计;含镍废水预处理系统设置pH计和总镍在线监测;生产废水和生活污水总排口(连网中控室)设置pH、F、流量,TN、TP、COD三合一、NH3-N、总Cu在线监测,并与两江新区生态环境分局联网。 酸碱洗涤塔处理设施均配备了在线pH、液位等检测仪;有机废气均有在线VOCs检测;所有污染治理设施均为PLC控制。 气体探测系统及火灾报警系统:在厂房设置磷化氢/H2、磷化氢/He、SiH4、C5F8、1%F2/1.25%K/Ne、BCl3、CO、CH2F2、O2、H2、Cl2、氯化氢、NF3、NH3、磷化氢等气体探测系统。 在有毒气体和可燃气体可能泄漏的场所,设置有毒气体检测仪或可燃气体检测仪。 生产车间、特气供应间、化学品库、储罐区等危险区安装自动火灾报警系统。 废气处理系统:废气处理设施:均采用N+1配置(N套运行,1套备用),事故状态下,在线检测仪器自动报警,厂房相关技术人员赶到现场,进行检查,人工实现切换备用洗涤塔,并及时修复。 导流沟:厂区生产车间楼层设有地沟和集液坑,事故情况下,液体经地沟流向集液坑,根据废水性质泵入相应废水处理系统处理。化学品库相应有液体存储的房间均布设了地沟和集液坑,发生泄漏事故时,液体经地沟流向集液坑,经管道流入室外事故池。 事故池:事故池(兼做初期雨水收集池1200m3),确保事故废水不外流;按防渗分区要求并作防渗、防腐处理。 雨污切换:雨、污管网:雨污管道出口设闸阀,废水管道明管敷设;发生事故时立即关闭出厂雨、污管道出口;废水管网与事故池连通。 应急措施:使用溶剂、酸碱等有毒、有腐蚀性物料的岗位附近,设置洗眼器、淋浴、急救箱等。 风向标:厂内最高显眼处设立风向标。 甲类库:设有地沟和集水井,并且与事故池连通;地面进行防腐防渗处理;设置可燃气体、有毒有害气体检测报警仪;应急材料:设置灭火器、消水栓、正压式防毒面具、C级防护服等。 化学品装卸区:化学品装卸区设有地沟,事故状态下,事故性泄漏物料储存在地沟,经管道流入事故池;同时在装卸过程中使用收集桶防止装卸过程中阀门连接口滴漏。 特殊气体储存及供应:特殊气体储存均用特气专用气体钢瓶,暂存于化学品库,使用时领用钢瓶,特气钢瓶领至芯片厂房1各供气间,放入供气柜,由特气柜经供气管道输送至机台,供应易燃易爆气体的特气柜为防爆气柜,并且气柜设计为负压,设有气体泄漏探测装置及自动喷淋系统,气柜尾气排入相应LSC系统处理后/直接排入厂务端处理设施,储存气体的专用钢瓶定期由特种设备检验所进行检验。 供气管道及腐蚀性液体管道:毒腐特气的供气管道为双套管,内管走公司生产所用气体,两管之间为真空,并设真空监测装置和氮气吹扫,当发生事故时,关闭两端阀门,停止供气,事故解除后,原管道内气体通过机台或气柜抽至相应厂务端处理系统。酸碱等腐蚀性液体采用双套管,内管走液体,管道带漏液侦测系统,可发现液体泄漏情况,同时漏液经VMB排至相应厂务端处理系统。 危废暂存间:危废暂存间设相应的废酸碱、废有机溶剂等收集罐并配套建设围堰,容积大于围堰内最大罐体积,围堰、地面及地沟采用防腐防渗处理。危险品库危险废物暂存间暂存间设有围堰,进行防渗处理,设有专用标志,满足《危险废物贮存污染控制标准》GB 18597−2001规定的贮存控制标准。 地埋式柴油罐:储罐区进行地面硬化、防渗处理; 在线监测:含氟废水、研磨废水、氨氮废水、含铜废水各处理子系统设置pH计;含镍废水预处理系统设置pH计和总镍在线监测;生产废水和生活污水总排口(连网中控室)设置pH、F、流量,TN、TP、COD三合一、NH3-N、总Cu在线监测,并与两江新区生态环境分局联网。 酸碱洗涤塔处理设施均配备了在线pH、液位等检测仪;有机废气均有在线VOCs检测;所有污染治理设施均为PLC控制。 气体探测系统及火灾报警系统:在厂房设置磷化氢/H2、磷化氢/He、SiH4、C5F8、1%F2/1.25%K/Ne、BCl3、CO、CH2F2、O2、H2、Cl2、氯化氢、NF3、NH3、磷化氢等气体探测系统。 在有毒气体和可燃气体可能泄漏的场所,设置有毒气体检测仪或可燃气体检测仪。 生产车间、特气供应间、化学品库、储罐区等危险区安装自动火灾报警系统。 废气处理系统:废气处理设施:均采用N+1配置(N套运行,1套备用),事故状态下,在线检测仪器自动报警,厂房相关技术人员赶到现场,进行检查,人工实现切换备用洗涤塔,并及时修复。 导流沟:厂区生产车间楼层设有地沟和集液坑,事故情况下,液体经地沟流向集液坑,根据废水性质泵入相应废水处理系统处理。化学品库相应有液体存储的房间均布设了地沟和集液坑,发生泄漏事故时,液体经地沟流向集液坑,经管道流入室外事故池。 事故池:事故池(兼做初期雨水收集池1200m3),确保事故废水不外流;按防渗分区要求并作防渗、防腐处理。 雨污切换:雨、污管网:雨污管道出口设闸阀,废水管道明管敷设;发生事故时立即关闭出厂雨、污管道出口;废水管网与事故池连通。 应急措施:使用溶剂、酸碱等有毒、有腐蚀性物料的岗位附近,设置洗眼器、淋浴、急救箱等。 风向标:厂内最高显眼处设立风向标。 已落实

锐石创芯(重庆)科技有限公司

行业:C3973集成电路制造
地区:重庆市 - 两江新区

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