高端功率半导体芯片研发制造项目（阶段性）

水污染治理设施

序号	设施名称	执行标准	实际建设情况	监测情况	达标情况
1	生产废水处理设施	电子信息产业园污水处理厂接管限值及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中表2标准	综合生废水处理设施（高浓度酸性废水处理设施和生化处理）正在建设（不纳入本次验收范围），目前生废水废水收集后专管排入电子信息产业园污水处理厂处理	pH1.2-7.3、COD日均最大值256mg/L、SS日均最大值7mg/L、BOD5日均最大值40.3mg/L、氨氮日均最大值0.208mg/L、总氮日均最大值67.8mg/L、氟化物日均最大值236mg/L、LAS日均最大值0.22mg/L	达标
2	生活污水处理设施	城东污水处理厂接管限值	化粪池	pH7.1-7.4、COD日均最大值267mg/L、SS日均最大值63mg/L、BOD5日均最大值83.7mg/L、氨氮日均最大值26.0mg/L	达标

大气污染治理设施

序号	设施名称	执行标准	实际建设情况	监测情况	达标情况
1	有机废气处理设备	《大气污染物综合排放标准》DB31/ 933-2015表1和表3排放标准	1套水喷淋塔+干式过滤+活性炭吸脱附+催化燃烧装置	挥发性有机物最大排放浓度为3.5mg/m3，二甲苯最大排放浓度为0.14mg/m3	达标
2	酸碱废气处理设备	《大气污染物综合排放标准》DB31/ 933-2015表1和表3排放标准	喷淋塔	氨最大排放浓度为1.51mg/m³、排速率为0.0765kg/h，氮氧化物最大排放浓度为7mg/m³、排速率为0.363kg/h，氟化物最大排放浓度为7mg/m³、排速率为0.363kg/h，氯化氢最大排放浓度为4.7mg/m³、排速率为0.242kg/h，硫酸雾最大排放浓度为1.3mg/m³、排速率为0.0671kg/h。	达标
3	镀镍金废气处理设备	《大气污染物综合排放标准》DB31/ 933-2015表1和表3排放标准	喷淋塔	氨最大排放浓度为0.82mg/m³、排速率为0.0238kg/h，氮氧化物未检出，氟化物最大排放浓度为2.29mg/m³、排速率为0.0656kg/h，氯化氢最大排放浓度为2.7mg/m³、排速率为0.0789kg/h	达标
4	沉积废气处理设备	《大气污染物综合排放标准》DB31/ 933-2015表1和表3排放标准	燃烧	颗粒物最大排放浓度为4.7mg/m³、排速率为0.00757kg/h。	达标
5	吹砂粉尘处理设备	《大气污染物综合排放标准》DB31/ 933-2015表1和表3排放标准	布袋除尘器	颗粒物最大排放浓度为4.9mg/m³、排速率为0.0311kg/h	达标

噪声治理设施

序号	设施名称	执行标准	实际建设情况	监测情况	达标情况
1	降噪设施	《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准	建筑隔声	昼间噪声最大值53.9分贝，夜间噪声最大值43.5分贝	达标

地下水污染治理设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求
1	分区防渗	分区防渗
2	危废仓库建筑面积约60m2：暂存废光阻剂、废显影剂（含定影剂）和定影剂、废清洗剂、含镍污泥、废水物化处理危废污泥。废活性炭委托有资质单位处理；酸碱包装桶/瓶由供应商回收	危废仓库建筑面积约60m2：暂存废光阻剂、废显影剂（含定影剂）和定影剂、废清洗剂、含镍废水（液）。废活性炭委托有资质单位处理；酸碱包装桶/瓶由供应商回收	已落实

固废治理设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求
1	危废仓库建筑面积约60m2：暂存废光阻剂、废显影剂（含定影剂）和定影剂、废清洗剂、含镍污泥、废水物化处理危废污泥。废活性炭委托有资质单位处理；酸碱包装桶/瓶由供应商回收	危废仓库建筑面积约60m2：暂存废光阻剂、废显影剂（含定影剂）和定影剂、废清洗剂、含镍废水（液）。废活性炭委托有资质单位处理；酸碱包装桶/瓶由供应商回收	已落实

生态保护设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求

风险设施

序号	环评文件及批复要求	验收阶段落实情况	是否落实环评文件及批复要求
1	配备灭火器等等风险应急物资，新增1座容积为200m3的事故应急池和改造建设1座70m3的事故应急池，事故应急池总容积为270m3	配备灭火器等等风险应急物资，新增1座容积为200m3的事故应急池和改造建设1座70m3的事故应急池，事故应急池总容积为270m3	已落实